氧化锡(ITO,或者掺锡氧化铟)是一种铟(III族)
氧化物(In2O3) and锡(IV族)氧化物(SnO2)的
混合物,通常质量比为90%In2O3,10% SnO2。它在薄膜状时,透明,略显茶色。在块状态时,它呈黄偏灰色。
2017年10月27日,
世界卫生组织国际癌症研究机构公布的致癌物清单初步整理参考,氧化铟锡在2B类致癌物清单中。
氧化铟锡主要的特性是其
电学传导和光学透明的组合。然而,薄膜沉积中需要作出妥协,因为高浓度电荷
载流子将会增加材料的
电导率,但会降低它的透明度。
因为铟的价格高昂和供应受限、ITO层的脆弱和柔韧性的缺乏、以及昂贵的层沉积要求真空,其它取代物正被设法寻找。
碳纳米管导电
镀膜是一种有前景的
替代品(
石墨烯是最佳的替代品)。这类镀膜正在被Eikos发展成为廉价、力学上更为健壮的ITO替代品。PEDOT和PEDOT:PSS已经被
爱克发·吉华集团和H.C. Starck制造出来.PEDOT:PSS层已经进入应用阶段(但它也有当暴露与紫外辐射下时它会降解以及一些其他的缺点)。别的可能性包括诸如铝-参杂的锌
氧化物。
ITO也被用于各种光学镀膜,最值得注意的有
建筑学中红外线-反射镀膜(热镜)、汽车、还有钠蒸汽灯玻璃等。别的应用包括
气体传感器、抗反射膜、和用于VCSEL激光器的
布拉格反射器。
ITO薄膜
应力规可以在高于1400°C及严酷的环境中使用,例如气体涡轮、喷气引擎、还有火箭引擎。