聚倍半硅氧烷是较为特殊的一类硅氧聚合物，其聚合物主体组成为（RSiO1.5）n，其高分子结构可呈梯形、树枝型或灯笼型等结构。与一般的有机硅化物聚硅氧烷相比较，聚硅倍半氧烷具有更高的耐热性和更低的表面能，适用于耐高温涂料的基料，还可以用作高分子液晶材料。

由三官能有机硅单体经水解缩合等反应制得聚硅倍半氧烷，当其中的有机基团是苯基时，由于空间位阻效应等影响，其水解产物经催化重排反应，可促使形成规则的立体有序梯形结构。