氦质谱检漏仪（氦气 Mass Spectrometry Leak 探测器）是以氮气作为示漏气体，对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的专用检漏仪器。

氦质谱检漏仪的工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离。然后根据不同种类气体离子质荷比不同的特点，利用磁偏转分离原理将气体区分开来。该仪器只对示漏气体氦气有响应信号，而对其他气体没有响应，因此属于唯一性检漏仪器。当出现信号响应时，表明有氦气通过漏孔进入被检件中，从而指示漏孔的位置与大小。

氮质谱检漏产于20世纪40年代，经过半个多世纪的发展和应用，现已广泛应用于航空航天、军事工业、轻工、医疗、仪器仪表、汽车和制冷等领域。该技术具有性能稳定、灵敏度高、操作简便和检测迅速等优点，是真空检漏技术中最常用的仪器。

专业用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。

最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s

漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s

启动时间： ≤5min

响应时间： \u003c2S

检漏口最高压力： 300Pa

极限真空： 5×10-4Pa

外形尺寸： 560（W）×420（D）×300（H）

重量：46KG

1.采用便携式设计

2.设备外型美观小巧

3.采用液晶触摸屏设计

4.有通讯接口

5.可以方便地将检漏数据输出

环境温度：5～35℃

相对湿度： \u003c80%

供电电压：单相交流220V±10%，50Hz最大工作电流：10A

JSJ-242型氦质谱检漏仪

BW-930C型是一款分体式气密性检漏仪。

设备内芯制造借鉴国外先进技术，具有灵敏度高，反应快，开机时间短等特点，是一款液晶触摸彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。

1. 最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s

2. 漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s

3. 启动时间：≤5min

4. 响应时间：≤1s

5. 检漏口的最高压力：1500Pa

6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A

7. 工作环境：5-35℃

8. 相对湿度：≤80%

9. 外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）

10. 重量：64kg

1. 气密性检漏仪专用分子泵

2. 机械泵或者干泵

3. 定制检漏仪专用电磁阀

4. 内置标准漏口

5. 放大器

6. 采用质谱专用模块

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成阳离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中最常用的两种方法。