二次
电子(Secondary electrons),又称次级电子,是指物体表面在被具有足够能量的主要辐射(如离子、电子或
光子)照射后发射出的低能量电子。这些电子通常在样品表面的5~10nm深度范围内产生,并且对样品的表面形貌十分敏感,因此能非常有效地显示样品的表面形貌。二次电子的能量较低,一般不超过50eV,大多数只带有几个电子伏的能量。它们属于二次发射的一种。
二次电子是一种真空中的自由电子。当高能量的
单射电子射入样品时,可以产生许多自由电子,其中90%来自样品
原子散逸层的
价电子。由于
原子核和外层价电子的
结合能较小,这些外层电子较容易与原子脱离,导致原子
电离。电子在固体中的非弹性平均自由径(inelastic
平均数 free path)通常具有普遍性,对金属而言,这个距离通常在几纳米内;对
绝缘体而言,则在十几纳米内。对于低能量的电子(\u003c 5eV),则有更长的平均自由径。
二次电子的能量较低,一般不超过50eV。大多数二次电子只带有几个电子伏的能量。这种低能量特性使得它们在样品表面的非弹性平均自由径较短,从而在表面形貌的分析中发挥作用。
电子在固体里的非弹性平均自由径(inelastic mean free path) 通常是具有普遍性,也就是说无关于什么材料。这个距离对金属来说,通常是在几个纳米;对
绝缘体来说,在几十个纳米,一般来说距离越小
测量精度越高。而对低能量的电子 (\u003c 5 eV) 来说,则有更长的平均自由径。
二次
电子崩:当初始电子崩发展到
阳极时,初始电子崩中的电子迅速跑到阳极上中和电量。留下来的
阳离子作为正空间电荷使后面的
电场受到畸变和加强,同时向周围放射出大量
光子。这些光子在附近的气体中导致光游离,在空间产生二次电子。它们在正空间电荷所畸变和加强了的电场的作用下,又形成新的电子崩,称二次电子崩。
二次电子像主要是反映样品表面10nm左右的形貌特征,像的衬度是形貌衬度,衬度的形成主要取于样品表面相对于
单射电子束的
转轴倾角。
如果样品表面光滑平整(无形貌特征),则不形成衬度;而对于表面有一定形貌的样品,其形貌可看成由许多不同倾斜程度的面构成的凸尖、台阶、凹坑等细节组成,这些细节的不同部位发射的二次电子数不同,从而产生衬度。
二次电子像
分辨率高、无明显阴影效应、场深大、立体感强,是扫描电镜的主要成像方式(特别适用于粗糙样品表面的形貌观察),在材料及生命科学等领域有着广泛的应用。