硅氮（又称为六甲基二硅氮烷、六甲基二硅胺、六甲基二硅胺烷或HMDS），分子式为[(CH3)3Si]2NH，是由氨中两个氢原子被三甲基硅基取代而形成的衍生物。它是一种无色液体，在有机合成和金属有机化学化学反应中有重要作用，同时也广泛应用于其他领域。

硅氮烷的分子结构显示，硅氮键长为173.5pm，Si-N-Si键角为125.5°，这些数据与不含甲基的类似化合物相似，表明在这种情况下，空间因素对键角的影响不大。

硅氮烷是一种无色透明液体，具有轻微的胺气味，熔点为-78℃，相对密度为0.765。它不易溶于水，但在特定条件下会发生反应。

硅氮烷属于高度易燃物质，同时也有一定的毒性。当接触到眼睛、皮肤或误食时，可能会对人体造成伤害。此外，它还可能导致烧伤。

硅氮烷可通过将三甲基一氯硅烷与氨气反应来制备。具体反应方程式为2(CH3)3SiCl + 3 NH3 → [(CH3)3Si]2NH + 2 NH4Cl。由于硅氮烷在潮湿空气中容易水解，因此通常采用真空技术进行此反应。

硅氮烷的碱金属化合物可以通过去除硅氮烷的质子来制备。例如，六甲基二硅氮基锂（LiHMDS）可以通过六甲基二硅氮烷与正丁基锂的反应制得：[(CH3)3Si]2NH + BuLi → [(CH3)3Si]2NLi + C4H10。类似的，还有六甲基二硅氮基钠（NaHMDS）、六甲基二硅氮基钾（KHMD）等。

硅氮烷在有机合成中有着重要的应用，特别是在杂环化合物的羟醛缩合中起到催化作用。例如，在黄嘌呤衍生物的微波合成过程中，硅氮烷就发挥了关键的作用。

在微影技术中，硅氮烷常被用作光阻剂表面的增粘剂。最佳使用条件是在气体状态下施加于加热过的基板上。

在电子显微镜中，硅氮烷可用作样品制备过程中的临界点干燥的干燥剂。

在裂解-气相色谱-质谱分析中，硅氮烷被添加到分析物中，以提高化合物的检测灵敏度。

硅氮烷在储存和运输时需要注意防火，应保持通风干燥，避免阳光直射，存储温度应在-50℃至45℃之间。在运输过程中，应按照危险品的要求进行操作。此外，硅氮烷易于水解，遇到酸性物质会产生剧烈反应，因此应储存在密闭容器中。