电子能量损失谱原理为低能电子束接近表面时会与晶体表面振动模发生相互作用，被反射回来的电子得到固体表面结构的信息一束能量为Ep的电子在与样品碰撞当中将部分能量传递给样品原子或分子，使之激发到费密(Fermi)能级以上的空轨道Ef，而自身损失了El能量的电子以Ep’的动能进入检测器而被记录下来。依能量守恒原理：El = Ep - Ep’。
参考资料
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