深圳中科飞测科技股份有限公司（Shenzhen Nanolighting Technology Co., Ltd.），成立于2014年12月31日，位于广东省深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。
2014年12月31日，中科飞测成立。2018年，中科飞测承担科技部"国家科技重大专项02专项"。次年，全系列设备进入国内
集成电路前道和先进封装市场。2022年，其5大产品系列累计批量销售超过300台。同年6月16日，科创板上市委公告，深圳中科飞测科技股份有限公司首发获通过。 2024年1月12日，中科飞测发布2023年业绩预告，其全年收入预计为8.5-9亿元，同比增加66.9%，减少76.7%；扣非净利润预计为0.25-0.45亿元，同比大幅扭亏为盈，维持“增持”投资评级。
2020年，获得第三届"IC创新奖"技术创新奖。次年，成为中国集成电路质量控制设备领头企业。2022年，获得成为国家级专精特新"小巨人"企业。2023年5月19日，中科飞测发行的人民币普通股股票在上海
纳斯达克股票交易所科创板上市。
2014年12月31日，中科飞测成立。2016年，第一台无图形晶圆缺陷检测设备进入国内头部客户产线验证。次年，中科飞测的产品进入国内第一大先进封装厂。2018年，其承担科技部"国家科技重大专项02专项"。次年，全系列设备进入国内
集成电路前道和先进封装市场。2020年，中飞测为国内领先集成电路芯片厂商批量出货集成电路质量控制设备。次年，成为中国集成电路质量控制设备领头企业。
2022年，5大产品系列累计批量销售超过300台。6月9日，科创板上市委员会定于2022年6月16日上午9时召开2022年第49次上市委员会审议会议，届时将审议深圳中科飞测科技股份有限公司的首发事项。6月16日，科创板上市委公告，深圳中科飞测科技股份有限公司首发获通过。
2023年2月21日，证监会同意深圳中科飞测科技股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市的注册申请。5月10日，中科飞测新股申购。5月19日，中科飞测发行的人民币普通股股票在上海
证券交易所科创板上市。12月28日，中科飞测收到人民币5694万元的政府补助款，其中与收益相关的政府补助5374万元，与资产相关的政府补助320万元。
2024年1月12日，中科飞测发布2023年业绩预告，全年收入预计为8.5-9亿元，同比增加66.9%，减少76.7%；扣非净利润预计为0.25-0.45亿元，同比大幅扭亏为盈，维持“增持”投资评级。
一般经营项目是：研发、设计、销售、上门安装、调试、测试、光电自动化设备、机电自动化设备、光电仪器、光电设备、电子产品、机械产品、
计算机及软件、工业自动控制系统、图像及数据处理系统，并提供上述商品的售后维护；并提供相关
技术咨询、技术维护、技术转让：从事货物及技术的进出口业务；自有物业租赁。（法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外，限制的项目须取得许可后方可经营），许可经营项目是：自动化设备及仪器、电子产品和机械产品的加工和配件制造。