合肥芯微电子装备股份有限公司（简称：芯碁微装，证券代码：688630），成立于2015年6月，注册资本12080万元，坐落于
合肥市高新区集成电路产业基地。
公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发和生产。主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备。
公司自成立以来，先后荣获“科技小巨人培育企业”“合肥市直写光刻设备工程技术研究中心”“国家高新技术企业”“2018年度中国电子电路行业百强企业”等多项殊荣，拥有知识产权百余项，并获批建立了 “外国专家工作室”和“第十批省级博士后科研工作站”。
合肥芯碁微电子装备股份有限公司（简称：芯碁微装，证券代码：688630），成立于2015年6月，位于
合肥市高新区集成电路产业基地， 设立有深圳分公司、苏州子公司等服务网点。 2021年，公司建成35000平米集研发、生产、办公于一体的智能化研发制造基地。同年4月1日，该公司于上海证券交易所科创板成功上市，股票简称为芯碁微装，股票代码为688630。
公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发和生产。主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备。
合肥芯硕自2017年4月起，多次以侵害其专利权为由对芯碁微装的核心技术人员（原先也是合肥芯硕核心技术人员）
方林、何少锋提起了诉讼，而且这类诉讼还发生了很多次，时间分别为2017年4月、9月，2018年5月、2019年1月。但在往年诉讼中，合肥芯硕都因各种各样的理由最终败诉了。2019年1月之后合肥芯硕曾不服
安徽省高级人民法院的判决，向最高人民法院申请再审，2019年12月12日，合肥芯硕在审查过程中突然书面提出撤回再审申请。