超纯水（Ultrapure
H₂O）简称UPW，是被净化到高规格水平的水，其纯度极高，杂质含量极低，不属于日常饮用水。 超纯水是在纯净水的基础上，将水中的导电介质，不离解的胶体物质、气体及有机物几乎完全去除。超纯水的标准是：水中仅含有 H20，以及适度数量的 H+ 和 OH- 离子。 其电阻率为 18.2 MΩ.cm、TOC \u003c 10 ppb、细菌数 \u003c 10 CFU/ml。 要归类为超纯水，水中不得含有任何可检测的内毒素。
超纯水可用于清洗和制造半导体元件，以防止微粒和痕量污染物的存在影响产品质量。电子级超纯水是半导体制造的基础性生产物料，在产品清洗和
蚀刻中发挥重要作用，用量极大。超纯水的制备过程包括多种净化技术，如过滤、
紫外线消解、
离子交换单元等，以达到几乎去除除水分子以外的所有杂质的目的。在使用超纯水时，需要注意水质的稳定性和安全性。
超纯水在实验室分析试验中扮演着重要的角色，因为它的纯净性质使得实验结果更加准确和可靠。在
半导体行业中，超纯水用于清洗和制造半导体元件，以防止微粒和痕量污染物的存在影响产品质量。电子级超纯水是半导体制造的基础性生产物料，在产品清洗和
蚀刻中发挥重要作用，用量极大。在芯片过程中,超纯水被广泛应用于清洗、蚀刻、沉积、
光刻等多个关键步骤。由于芯片制造过程中使用的
光刻机、蚀刻机等设备对水质要求极高,微小的颗粒或杂质都可能导致芯片缺陷,影响其性能和寿命。因此,超纯水在芯片制造过程中的作用不可或缺。
在使用超纯水时，需要注意水质的稳定性和安全性。超纯水在储存时可能会吸收空气中的杂质，因此建议使用新鲜的超纯水，并定期进行水质检测和系统的维护。此外，为了确保系统的长期稳定运行，给水质量的预处理也非常重要，以避免杂质导致耗材过早耗尽。