秦属鄣郡地，西汉初属楚国，旋属荆王国，后属吴国。刘启前元三年 (前154)属广陵郡。刘彻元狩二年(前121)，废江都国，属丹阳郡地。

西汉武帝元封二年(前109)，置於朁县，属丹阳郡，县治即今浙江临安区於潜镇。东汉时改於朁为於潜。

南梁陈祯明元年(587)，於潜改属钱唐郡。隋作於，属杭州市。

唐武德七年(624)，于於潜县置潜州，领於潜、临水（临安市城区）两县；武德八年废潜州，临水县并入於潜县，仍属杭州。

五代十国、北宋於潜县属杭州，南宋属临安府，元属杭州路，明、清属杭州府。

民国元年(1912)废府，改省直辖。民国3年设道，属钱塘道。民国16年废道，又改省直辖。民国24年属第一行政督察区，民国27年至34年，为专署驻地。民国36年5月改省直辖，10月改属第二行政督察区，民国37年4月属第一行政督察区，8月属第九行政督察区。

1949年5月29日，於潜县解放，属临安专区。1953年临安专区撤销，改属嘉兴专区。1955年划归建德专区。1958年11月并入昌化县，属嘉兴专区。

道家名山

相传道教有三十六洞天，七十二福地，皆仙人居处游憩之地。世人以为通天之境，祥瑞多福，咸怀仰慕。道教潜隐默修之士，喜遁居幽静之山林，故多择有仙迹传说之处，兴建宫观，期荫仙风而功道园融。历代以来，道侣栖止，香客游人络绎不绝，故洞天 福地已成为中国绵绣河山之胜境。洞天福地，又名三十六小洞天。

第五十七福地 柱山 在杭州於潜县