A colorless,toxic,flammable,corrosive,liquefied gas.(一种无色,有毒,可燃,具腐蚀性的可液化气体。)
沸点33.4℃。
熔点77.7℃。蒸汽压888KPa(21.1℃)。比容22.6ft3/lb(70°F,14.696psia)。最低可燃性含量15%。最高可燃性含量30%。人体的最高容许浓度25ppm。DOT类别2.2(Flammable Gas)(可燃性气体)。DOT标签FLAMMABLE GAS(可燃性气体)。
超纯氨是微电子学氮化硅掩蔽膜的主要原材料,其反应为:750―850℃ :SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2 ,850―900℃ :SiCl4+NH3---Si3N4+HCl+N2。虽然NH3在半导体制造用量不大,但在光电子领域、超纯氨是十分重要的原材料,NH3的质量好坏直接决定
发光二极管(LED)的亮度,它的价格高低左右着LED的经济性。发光二极管LED是继
托马斯·爱迪生发明电灯后,人类又一次照明工业的革命,发达国家(包括我国省在内)为在此领域获得更大的主动权,纷纷成立国家照明工作委员会,LED现已产业化生产,生产的LED已大量进入我国市场,为打破专利垄断,中国成立了照明工作领导办公室,中国将在2006年全面推广半导体照明,届时对NH3的需求将猛增。LED是利用超纯氨同三
甲基镓(被称为MO源)反应,生成GaN半导体的,其反应为650℃Ga(CH3)3+NH3 ,GaN+CH4N2 发达国家光电子发展速猛,处于成熟期,因此,极大推动气体公司对氨提高纯度的研究,AP公司的Solkatronic chemicals 推出的NH3纯度达到6.4N,被称为“
蓝色 ammonia”。它是采用工业氨经
吸附――精馏――深度化学净化等联合工艺,对氨进行净化。
亚洲的日本昭合电工株式会社,有电子级氨对外出售,目前,我国许多LED生产用户所用的进口氨,基本上是普莱克斯、APCI和日本昭合电工。
我国对氨净化、分析等的研究起步于80年代,当时为满足我国微电子学工业的需要,
光明化工研究设计院、北京氧气厂先后开展了电子级
高纯氨的研究与生产,生产的产品满足了当时我国电子工业对氨的急需,进入2000年光明院又承担了国家十五“863”“超纯氨的研究与产业化生产”课题,在国家资金的资助下,经过系列的研究,克服了氨净化过程中的“马蹄型”效益,在原有的基础上,对氨净化技术,大规模生产技术,产品包装技术等诸多方面有突破性进展,现有100kg超纯氨包装容器20多支,往返生产与用户之间,整个生产线实现了自动化,产量达到500t/a,生产的产品三年来一直应用于LED生产线,是目前国内唯一真正用于LED大规模实用化生产流水线的氨生产厂,预计在今年年底,随着用户对MOCVD设备的再次扩大,国产氨用量将大规模攀升。