殷纯永，男，1937年3月生，
辽宁省大连市。1961年毕业于
清华大学精密仪器系光学仪器专业(六年制)，1984到1985年在英国国家物理实验室(NPL)作访问学者。
1992到1993年在
多伦多大学和女皇大学作高级访问学者，现任
清华大学精密仪器与机械学系教授、1990年获准博士生导师资格、清华大学技术职务评审委员会委员(1994～1997届)、SPIE
国际光学工程学会会员、航空计测技术编委、计量仪器专业委员会副主任委员。机械部教学指导委员会委员。30几年中一直从事光电精密仪器的科研和教学，曾10次获得省部委以上奖励，四次获得国家级奖励。1980年“自动补偿双频激光测量装置”获国家发明3等奖；1992年“运动姿态测量方法和装置”获国家发明3等奖；1993年“磁盘测试设备”获国家科技进步3等奖。获准发明专利3项，1999年激光测量学获12家图书担名奖。
实用新型1项。国内外核心刊物发表文章80余篇，如：自动补偿双频激光测量系统；零位光栅设计方法；双通道自适应旋光准直测量系统的数据处理；四光束双焦点激光测速系统；光纤激光多普勒横向位移
传感器；光学仪器设计中的光学自适应原则等。主编“光电精密机械仪器设计”(
机械工业出版社，1996)、“现代干涉测量技术”（
天津大学出版社，1997）、“质量工程导论”（计量出版社1998）、参编“信息光学基础”(机械工业出版社，1985)，当前研究课题：自适应计量(违阿贝结构误差准实时修正方法和器材件的研究；亚纳米探测技术；仪器系统的仿真设计等)，质量工程。