齐翰，字等至，出生于吴兴沈氏家族。齐翰性格淡泊名利，专注于学术研究，精通多部佛经和律部。他对后辈学者给予指导，鼓励他们追求真理。晚年，齐翰患病，在念佛道场中去世，享年六十八岁。

齐翰出身于一个显赫的家庭，他的高祖父是陈国子祭酒，曾祖父是隋朝魏州司马。尽管家庭背景优越，但他选择了一条与众不同的道路——投身佛教。齐翰年轻时便在寺庙中居住，体验到了佛教世界的宁静与超脱。这种体验激发了他对佛教的深刻理解和坚定信仰，促使他决定放弃世俗生活，全心全意地投入到佛教修行之中。

唐朝天宝八年，齐翰正式加入了本州永定寺，开始了他的宗教生涯。次年，他在开元寺接受了五分坛的授戒仪式，成为了比丘。大历三年，他被调任至武丘两州，继续弘扬佛法。在那里，他受到了广泛的敬仰和追随。齐翰的性格并不迎合时代潮流，也不追求名声。他总是独自一人静静地研习佛法，丝毫不浪费时间。他精通《法华经》以及其他许多佛经和律部，对于佛教教义的理解和阐释达到了极高的水平。他还致力于引导后来的学者，帮助他们在佛教道路上取得进步。

齐翰曾经告诉吴兴的皎然，他愿意将自己所有的知识都贡献出来，以便他人能够更好地理解佛教。他认为，即使是一点点的善行，也应该导向净土。在他生命的最后十年里，齐翰不幸染上了疾病。他选择了进入念佛道场，希望通过这种方式来实现自己的愿望。在念佛道场中，他看到了净土的景象，这让他感到无比欣慰。临终前，齐翰留下了一首诗偈：“流水动兮波涟漪，芙蕖相照兮宝光随。乘光以迈分偕者谁。”这首诗表达了他对佛教的深切情感以及对未来的美好期望。

齐翰在虎丘之东寺逝世，享年六十八岁。在他的生命即将结束之际，他向弟子们嘱咐说：“你们要坚持善良的行为，珍惜宝贵的时间。如果你们能够坚持这些原则，那么你们的品德就会得到提升。”当有人问他为什么会在生病的时候离开人世，他说：“即使是圣人也无法逃脱死亡的命运，更何况是我呢？”说完这句话，他就回头看着佛像，平静地离开了这个世界。