二氯硅（
化学式：H2SiCl2，简称：DCS）是一种
无机化合物，相对分子量为101.007。它是一种易燃物质，其蒸气可与空气形成爆炸性混合物，遇热源和明火有燃烧爆炸的危险。二氯硅烷与
卤族元素及其它
氧化剂剧烈反应，遇水或
蒸汽剧烈反应，生成
盐酸烟雾。二氯硅烷的主要用途是在半导体生产中，在
化学气相沉积室中与氨混合，可以生长氮化硅薄膜。
二氯硅烷主要成分 纯品，是无色气体，易溶于苯、
乙醚等多数有机
溶剂，多用于合成硅的
有机化合物。
熔点122℃、
沸点8.3℃、相对密度(水=1) 1.26、相对蒸气密度(空气=1) 3.59、饱和蒸气压(kPa) 16.716(20℃)、自燃温度(℃) 58、爆炸上限%(V/V) 99.0、爆炸下限%(V/V) 4.1。
健康危害：对上下
呼吸道、皮肤和眼睛有腐蚀性和刺激性。本品遇水或空气中的水份迅速
水解形成
氯化氢（
盐酸）。盐酸可致皮肤灼伤和粘膜刺激。接触后表现有流泪、咳嗽、咳痰、
呼吸困难、流涎等。可引起
肺炎或
肺水肿。眼接触可致灼伤，导致
失明。