过一硫酸是一种无机化合物，化学式为H2SO5，常温常压下为白色固体。它是一元酸，具有强烈的氧化性，其氧化还原电位为1.776V。过一硫酸的盐类都是不稳定的，目前只得到了过一硫酸氢钾复合盐（KHSO5），其中主要的杂质为硫酸钾和硫酸氢钾。过一硫酸的苯甲酰衍生物已经制得，但并不常见。过一硫酸的“过氧硫酸”或“过硫酸”有时也指过二硫酸（H2S2O8），但这两种化合物的结构不同。过一硫酸是一种强氧化剂，也是已知最强的氧化剂之一，其氧化能力非常强。

也称过氧硫酸，又名卡罗酸

化学式：H2SO5（也可写成SO3·过氧化氢）

分子量：114.07

性质：当硫酸与H2O2混合，生成过氧单硫酸（H2SO5）可以看成是H2O2中一个氢原子被磺基SO3H 取代的产物，即HOO–与–SO3H结合。无色吸水性晶体。熔点45*C，加热爆炸分解。溶于硫酸、磷酸、乙酸。因含有过氧根而具有强氧化性，与芳香族化合物（如苯、酚、苯胺）相混爆炸。在水中缓慢水解为硫酸与过氧化氢。它是一元强酸，其盐类反而不稳定。

这些基团可以与光刻胶中的碳高分子链反应，最终生成CO和CO2 。采用现有的piranha流程，为了使反应充分进行并得到合适的去胶速率，需要将溶液加热到150℃。不幸的是，灰化时离子轰击光刻胶造成了去氢的非晶碳层，该层与OH–和HSO4–反应基之间的反应很弱。

纯过一硫酸也叫高浓度矾氧混化剂VF，由三氧化硫固体与100%的无水过氧化氢反应制得，酸性、氧化性都比硝酸强，与金反应很剧烈。

H2SO5 由海因里希·卡罗最初制得，故也称“卡罗酸”（Caro's acid）。

实验室制法：混合充分冷却的氯磺酸和计量的无水过氧化氢：

H2O2 + Cl二氧化硫OH ⇌ H2SO5 + HCl

大规模生产可以用 \u003e85% 硫酸和 \u003e50% 过氧化氢的反应来制取过一硫酸：

H2O2 + H2SO4⇌ H2SO5 + H2O过二硫酸部分水解或用三氧化硫处理无水过氧化氢也可以得到过一硫酸。

过氧一硫酸被用于消毒。比如游泳池水或假牙的消毒。过氧一硫酸的碱金属盐被用于去木质素。

过氧一硫酸的铵盐、钠盐、钾盐被用于塑料工业中的聚合引发剂、刻蚀剂、土壤调节剂，以及用于对油进行脱色、除味处理。

过一硫酸氢钾复合盐被广泛用来做氧化剂（目前发现最强氧化剂，电极电势E=+2.51V）

就像所有的强氧化剂一样，过氧一硫酸应远离有机化合物（如醚、）储存，因为过氧一硫酸可以使这些物质过氧化，生成极不稳定易爆炸的过氧丙酮