萧至忠开始为伊阙、
洛阳市尉，迁
监察御史。
李显神龙初以攀附
武三思被提拔为
御史中丞，迁
吏部侍郎。
景龙元年（707年）拜
黄门侍郎、同
中书门下平章事。景龙三年（709年），萧至忠升任侍中，并依附于皇后韦氏。
唐隆政变后，萧至忠又依附于
太平公主，被任命为
刑部尚书和
中书令，并被封为酂国公。
开元元年（713年），萧至忠与太平公主密谋叛乱的计划被揭露，
李隆基发动了
先天政变，诛杀了太平公主及其党羽，萧至忠也被处决。
707年（
景龙元年），太子
李重俊发动兵变，诛杀武三思，但最终兵败被杀。宰相
宗楚客趁机诬陷
李旦也参与兵变，
李显便命萧至忠审理。萧至忠哭诉道：“此前，天后欲立相王为太子，相王数日不食，请求让于
皇帝，其德行天下皆知。如今陛下贵为天子，怎么容不下一个弟弟呢？而要信人谗言。”唐中宗这才作罢。不久，萧至忠担任中书侍郎、同
中书门下平章事，成为宰相。
709年（景龙三年），萧至忠升任侍中，监修国史，不久又改任
中书令。当时，宰相宗楚客、
纪处讷结党营私，
韦巨源、
杨再思、
李峤只求自保，无所匡正。萧至忠起初坚守本职，受到时人的尊重，后来也依附于韦氏，将女儿嫁给
韦皇后的表弟，甚至为死去的女儿与韦后的弟弟结冥婚。
710年（
景云元年），
李隆基发动
唐隆政变，诛杀韦皇后。不久，
李旦继位，是为唐睿宗，萧至忠被贬为
晋州刺史。当时，
太平公主权倾朝野，萧至忠便主动投靠太平公主。太平公主认为萧至忠的儿子在唐隆政变中遇害，他一定会心存怨望，可以帮助自己，便把他召回京师，任命为
刑部尚书、
中书令，封酂国公。
对于萧至忠依附太平公主的行为，很多人都进行反对。萧至忠的妹夫华州刺史
蒋钦绪曾对他道：“凭您的才学，何必担心日后不能飞黄腾达！最好不要作非分之想，钻营求官。”萧至忠不听。蒋钦绪叹道：“萧家九代卿族，至此一朝族灭，实在是可悲呀！”后来，萧至忠从公主府中出来，恰巧遇到
宋璟。宋璟道：“这不是我对您所期望的。”萧至忠讪笑道：“宋生说得很对！”说完便催马离去。
712年（先天元年），
李旦禅位于太子
李隆基，是为唐玄宗。713年（
开元元年），
太平公主与萧至忠、
窦怀贞、
岑羲、
崔湜、
薛稷等人密谋废立，决定在七月四日发动兵变，由
常元楷、李慈率
羽林军闯入武德殿，萧至忠则与窦怀贞、岑羲在南衙举兵响应。不料唐玄宗提前得知消息，抢先平息兵变。萧至忠逃入南山，数日后被捕伏诛，家财也被抄没。
萧至忠虽因谋反被杀，唐玄宗对他仍很欣赏。后来，唐玄宗任命
源乾曜为宰相，对
高力士道：“你知道我为什么提拔源乾曜吗？我觉得他很像萧至忠。”高力士问道：“萧至忠不是辜负了
皇帝吗？”
李隆基道：“萧至忠是治国之才，只是晚年做了错事而已，他起初不是非常贤能吗？”
萧至忠担任
御史时，
御史大夫李承嘉曾为诸御史道：“弹劾大臣不先向大夫请示，这合乎道理吗？”众人都不敢回答，只有萧至忠道：“依据惯例，御史台没有长官。御史，是皇帝的耳目，可以各自独立地弹劾，互相不必请示。如果弹劾要先向御史大夫请示，那么，弹劾御史大夫又该向谁请示呢？”李承嘉大惭，无言以对。
刘昫：① 至忠虽清俭刻己，然简约自高，未尝接待
太子宾客，所得俸禄，亦无所赈施。及籍没，财帛甚丰，由是顿绝声望矣。② 大帝、孝和之朝，政不由己，则天在位，已绝缀，
韦皇后司晨，前踪覆辙。当是时，奸邪有党，宰执求容，顺之则恶其名彰，逆之则忧其祸及，欲存身致理者，非中智常才之所能也。况元忠、安石、巨源、至忠、彦昭等行非纯一，识昧存亡，徇利贪荣，有始无卒，不得其死，宜哉！
宋祁：① 至忠始在朝，有风望，容止闲敏，见推为名臣。外方直，纠擿不法，而内无守，观时轻重而去就之。② 异哉，
李隆基之器萧至忠也，不亦惑乎！至忠本非贤，而寄贤以奸利，失之则邀利以丧贤，姻艳后，挟宠主，取宰相，谋间王室，身诛家破，遗臭无穷。而帝以乾曜似之，使当国，是帝举不知至忠之不可用，又不知乾曜之所可用也。或称帝不以罪掩才，益可怪叹。
《全唐诗》收录诗作九首：《奉和九日幸临渭亭登高应制得馀字》、《奉和九月九日登慈恩寺浮图应制》、《奉和幸安乐公主山庄应制》、《送张亶赴朔方应制》、《陪幸长宁公主林亭》、《陪幸五王宅》、《三会寺应制》、《荐福寺应制》、《陪游上苑遇雪》